3. Phân tích nguyên lý và sự hoạt động của micro hệ tĩnh điện? Tại sao lại gọi là hệ tĩnh điện?

Cấu tạo của hệ gồm một điện áp định thiên Uo. Tụ tĩnh điện gồm hai tấm kim loại, một tấm cố định và một tấm động, tấm động có thể dao động tự do. Và sự dao động giữa hai tấm của tụ điện mà hình thành nên sự biến thiên của dòng điện.

Nguyên lý: Tấm động dao động tự do làm thành với tấm cố định một tụ điện. Trong micro tụ điện, nếu tấm động chịu tác động của một thanh áp điều hòa (dao động cưỡng bức) giả sử dao động như sau:

x = Xm ejt

Tương ứng sẽ gây ra sự biến thiên điện dung của tụ điện:

; Với : - o: hằng số điện môi.

- S: Diện tích tấm kim loại

- a: Khoảng cách giữa hai tấm kim loại.

- Ta đã biết: ; q = CUo ;

Vì: ; .

Nếu coi: x << a thì khi đó:

Với: ; và:

- Micro tụ điện có độ trung thực cao, độ nhạy cao, dải động lớn, chịu được chấn động, có thể tiểu hình hóa được (đến kích thước 3x3x2 mm) do đó micro tụ điện trở thành ưa chuộng nhất.

- Tại sao: hệ thống tụ điện dao động làm biến đổi trường tĩnh điện sinh ra dao động điện và ngược lại, phân tích nguyên nhân, kết quả và so sánh với hệ khác