I. Kính hiển vi điện tử quét bề mặt SEM
1. Cấu trúc chính và tác dụng chính của các bộ phận kính hiển vi điện tử quét bề mặt SEM
* Hệ thống quang học điện tử
_ Sóng điện tử: tạo chùm điện tử
_ Các thấu kính làm hội tụ chùm điện tử thành 1 điểm trên bề mặt mẫu trong buồng chân không.
_ Các cuộn dây quét tạo từ trường để điều khiển chùm điện tử
_ Khẩu độ tụ có tác bụng bắt buộc các điện tử đi theo 1 khe hẹp
* Hệ thống chân không gồm có:
_ Buồng chân không, bơm để tạo chân không
_ Van để tạo chân không, áp kế
* Bộ thu và phát tín hiệu:
_ Các detector thu tín hiệu
_ Hệ thống tạo ảnh.

2. Các yếu tố ảnh hưởng tới ảnh khi chụp bằng kính hiển vi điện tử quét bề mặt SEM
* Nguồn điện tử
Trong các thiết bị quang học điện tử đều phải có 1 nguồn tạo điện tử. Chùm điện tử này hội tụ trên mẫu hoặc k hội tụ trên mẫu. Độ phân giải của ảnh phụ thuộc vào đường kính chùm tia và năng lượng chùm tia điện tử tới mẫu.
Tính ổn định cao của chùm tia điện tử và nguồn phát mạnh sẽ quyết định chất lượng ảnh.
* Độ phân giải
Độ phân giải là1 thông số tới hạn khống chế sự thực hiện của kính hiển vi điện tử quét. Thực tế độ phân giải là kết quả của sự cân đối giữa hiệu ứng quang sai của thấu kính cuối cùng và hiệu ứng nhiễu xạ. Đối với hầu hết các thiết bị SEM độ phân giải đạt cỡ 3.5-5nm. Để đạt được độ phân giải cao trong SEM phải tạo được đường kính chùm tia nhỏ nhất và nguồn điện tử có độ rọi lớn nhất kết hợp với khả năng thu điện tử thứ cấp phát xạ với hiệu quả cao nhất.
* Chiều sâu trường quan sát