Gia công bằng  siêu âm các vật thể rắn chủ yếu là ứng dụng sự tán sắc của siêu âm, thực chất là lợi dụng sự cọ sát cơ học của môi trường hai pha để tạo nên tác dụng gia công

Dao động có tần số 18-25 kHz được phát từ nguồn tần số cao truyền đến bộ chuyển đổi. tại đây dao động điện biế thành dao đông cơ cùng tần số, biên độ dao động trong khoảng 5-10 µm. Biên độ dao động này nhỏ, không đủ lớn cho việc gia dông kim loại. Để giải quyết vấn đề này, dao động trước khi đến đầu dụng cụ được cho qua đầu biến tốc được gắn cứng vào bề mặt ngoài của bộ chuyển đổi. Bộ biến tốc được làm bằng vật liệu có độ bền mỏi cao và giảm thiểu sự mất mát  năng lượng. Khe hở giữa đầu dụng cụ và bề mặt gia công từ 0,02-0,1 mm. Trong quá trình gia công, sự rung động của đầu dụng cụ sẽ gia tốc cho các hạt mài ở tốc độ cao và truyền lực cần thiết cho hoạt động cắt gọt. Các hạt mài này đập vào bề mặt gia công làm vỡ các phần tử cứng giòn. Kết quả là các phần tử li ti của chi tiết bị bong ra và được tải đi bởi dòng hạt mài. Các hat mài sẽ ăn mòn bề mặt gia công một cách lien tục và chép lại hình dáng của dụng cụ lên bề mặt chi tiết.