I, công ngh? màng m?ng 

- Chi?u dày vài tram nano d?n vài um. 

- Màng m?ng là pp d?n di?n, t?o di?n áp, dòng diê?n trong các v?t ch?t. 

- Các linh ki?n tích c?c: diode, tran và 1 s? linh ki?n th? d?ng dc ch? t?o du?i d?ng màng m?ng trên d? cách di?n. 

- Công ngh? màng m?ng dua ra các pp nh?n màng m?ng và tích t? các lo?i h?p ch?t d?c bi?t là các l?p bán d?n. 

II, các pp nh?n màng m?ng 

- 1.Pp bay hoi và chân không. 

Nx : chân không có ánh sáng 10-6 ÷10-19 mmHg. 

V?t li?u s? dc d?t nóng b?ng hi?u ?ng joule chính là c?m ?ng cao t?n ho?c chùm di?n t?. v?t li?u b? bay hoi ph? thu?c vào ánh sáng c?a bom chân không bám vào d? d? t?o nên dc n?ng d? khác tùy thu?c vào ch? t?o linh ki?n. 

Uu di?m: 

- Bay hoi ? chân không cao, s?ch, không có t?p ch?t. 

Nhu?c di?m: 

- B? dày không d?u trên di?n tích l?n, khó có th? bay hoi dc ho?p ch?t do ánh sáng hoi các thành ph?n khác. 

Theo pp này ng ta thu?ng dùng bay hoi d? t?o màng các ch?t nhu: Al, Cu, Ni, ... 

2. pp ph?n x? catot. 

Pp này hút chân không v?i p= 10-6 mmHg. 

Ngu?i ta cho khí argon vào bu?ng chân không v?i ánh sáng 10-2 mmHg. Sau dó ion argon v?i u=5Kv xoay chi?u v?i f= 10 ÷ 15 MHz. các ion s? b?n phá bia. Các ng t? c?a v?t li?u này s? bay hoi và k?t t?a lên d?. 

Uu di?m: 

- Ð?ng d?u hon pp bay hoi và có th? nh?n màng là h?p ch?t vì truy?n nang lg bên ngoài vào. 

Nhu?c di?m: 

- Màng m?ng có ch?a h?p ch?t. nó dc sd nh?n màng h?p kim (Al- Si) dùng làm dây d?n cho ca'c cu?c, ca'c nguyên liê?u 

3. pp k?t t?a trong pha hoi. 

Nó dc th?c hi?n trong lò d?ng, lò ngang. Ch?t khí ho?c h?n h?p khí phân h?y v?i t= 300 ÷ 10000C sinh ra ph?n ?ng trên m?t d?. 

- Co' 2 loa?i pha?n u'ng: 

+ Pha?n u'ng khô 

SiH4 ? Si + 2H2 

+ Pha?n u'ng uo't 

Si + H2O ? SiO2 + H2 

- Trong pha?n u'ng na'y nguo'i ta su? du?ng khi' H2 hoa?c Ar d? pha loãng khí ph?n ?ng. 

- Uu diê?m 

+ Ðô'ng dê'u va' co' thê? nhiê?t phân o? 2 loa?i la' thê? ra'n va' thê? lo?ng 

4. pp hóa h?c. 

T?o ph?n ?ng hóa h?c ? nhi?t d? cao gi?a d? và ch?t khí. 

Si + O2 ? SiO2 

Ng ta sd pp này trong công ngh? Plasma. 

III - Ca'c phâ'n tu? cu?a ic ma'ng mo?ng 

La' gia' do~ cu?a toa'n ma?ch. Tâ't ca? ca'c loa?i ma'ng mo?ng dê'u duo?c chê' ta?o trên dê'. Vâ?t liê?u va' ca'ch su? ly' sacjhlafm dê'n t/c cu?a ma'ng mo?ng va' dê'n dô? tin câ?y cu?a IC 

Ca'c yêu câ'u vo'i dê': diê?n tro? suâ't cao, co' dô? bê'n ve' co ngay ca? khi ma'ng mo?ng. 

- Tro vê' ma?t ho'a, không pha?n u'ng vo'i châ't kê't tu?a 

- Ðô? bê'n ly' ho'a cao o? ha'ng tram dô? C 

- Hê? sô' da~n no? vê' nhiê?t phi?a tuong thi'ch vo'i vâ?t liê?u kê't tu?a 

- Vâ?t liê?u chu? yê'u la' gô'm hoa?c thu?y tinh 

- Vê' ma?t ki'ch thuo'c co' dô? rô?ng 10-30mm da'i 10-60mm, da'y 0.2-0.6mm 

+) Ðiê?n tro? ma'ng mo?ng

- Vâ?t liê?u dê? chê' ta?o gô'm kim loa?i, ho?p kim, ba'n dâ~n hoa?c hô~n ho?p kim loa?i gô'm. 

- Ðiê?n tro? thuo'ng du'ng nhiê'u nhâ't la' 20%Cr,80%N. 

? Tu? diê?n ma'ng mo?ng.

- Vâ?t liê?u chi'nh la' diê?n môi, di'nh ba'm tô't vo'i dê' va' ma'ng kim loa?i. Ðiê?n truo'ng da'nh thu?ng cao va' ba'ng sô' diê?n môi lo'n 

- Ca'c loa?i du'ng nhiê'u la': SiO2 ,GeO. Al2O3 

+) Cuô?n ca?m ma'ng mo?ng

+) Dây dâ~n tiê'p xu'c ma'ng mo?ng 

- Yêu câ'u dô? dâ~n diê?n cao va' di'nh ba'm tô't dê' co' thê? ga'n nô'i ra ngoa'i. 

- Vâ?t liê?u su? du?ng la': Au, Ni, Cu, Ap 

- Thuo'ng co' lo'p lo't Cr dê? tang dô? di'nh ba'm 

- Châ't ca'ch diê?n giu~a ca'c lo'p ba'n dâ~n la' ca'c vâ?t liê?u oxit va' thu?y tinh 

+) Transistor ma'ng mo?ng